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技術(shù)文章

標(biāo)準(zhǔn)組件

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標(biāo)準(zhǔn)組件

高品質(zhì)的鏡面基板,玻璃和石英玻璃

具有公差的PR涂層

Ø對(duì)于R = 10 ... 30%,±2%

Ø對(duì)于R = 30 ... 75%,±±3%

Ø對(duì)于R = 75 ... 90%,±±2%

Øo±1%,R> 90%

Ø•開發(fā)和生產(chǎn)客戶特定的組件

圖2:不同AOI(a)下308nm可變衰減器的透射光譜和308nm處透射率與AOI(b)的關(guān)系。

在AOI = 0°時(shí),透射率從T> 85%變化到在AOI = 45°時(shí)T = 2±1%(非偏振光)

 

耐氟腔光學(xué)

圖3:氟化KrF激光鏡(a)和R = 50±3%的輸出耦合器(b)的反射光譜

•氟化物涂層和CaF2基材,對(duì)氟和氯具有較高的穩(wěn)定性

•激光鏡(在248nm和308nm處為> 98%,在351nm下R> 96%)

•高品質(zhì)的鏡面基板,窗戶和CaF2透鏡(248nm準(zhǔn)分子級(jí)或紫外線質(zhì)量,肖特公司)

•具有公差的PR涂層

對(duì)于R = 10 ... 30%,±2%

對(duì)于R = 30 ... 75%,o±3%

o±2%,R = 75 ...> 90%

 

KrF,XeCl和XeF激光組件的技術(shù)參數(shù)

Coating

Materials

Reflectance

Damage threshold*

Lifetime test

HR (0°, 248nm)

oxides

> 99%

10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns 5 J/cm2, 1000 - on - 1

 

HR (45°, 248nm)

oxides

> 99% (random pol.)

10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns

 

HR (0°, 248nm)

fluorides

R > 98%

 

2x108 pulses**

PR (0°, 248nm)

fluorides

R = 50 ± 3%

 

2x108 pulses**

PR (0°, 248nm)

fluorides

R < 0.25%

 

2x108 pulses**

HR (0°, 308nm)

fluorides

R > 98%

 

2x108 pulses***

HR (0°, 351nm)

fluorides

R > 96%

 

2x108 pulses***

PR (0°, 351nm)

fluorides

R = 25 ± 3%

 

2x108 pulses***

*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena進(jìn)行了測量

**能量密度:100mJ / cm 2, 速率:100Hz,脈沖持續(xù)時(shí)間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

***能量密度:55 mJ / cm2, 速率:100Hz,脈沖持續(xù)時(shí)間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

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